65納米製程

半導體器件製造
10 µm – 1971年 6 µm – 1974年 3 µm – 1977年 1.5 µm – 1982年 1 µm – 1985年 800 nm – 1989年 600 nm – 1994年 350 nm – 1995年 250 nm – 1997年 180 nm – 1999年 130 nm – 2001年 90 nm – 2004年 65 nm – 2006年 45 nm – 2008年 32 nm – 2010年 22 nm – 2012年 14 nm – 2014年 10 nm – 2017年 7 nm  – 2018年 5 nm – 約2020年

65納米製程是半導體製造製程个一個水平。至2007年，英特爾、AMD、IBM、聯華電子、特許半導體搭台積電等公司進行65納米製程得製造。