スロット炉の英語

あるいは、逆に、半導体製造装置の反応炉から搬出されたボート３０の指示されたスロットから第１，第２のテストウェーハＴＷ１，ＴＷ２を指示されたウェーハカセットのスロットに戻す。例文帳に追加

Or conversely, the unit returns the wafers TW1 and TW2 from the specified slots in the boat 30 unloaded from the reaction furnace to specified slots in the cassettes 11 and 12, respectively. - 特許庁

スロットの製造に際し、これを所定の温度範囲に加熱するための熱処理炉および最終製品の巻き取り装置の直前で最終製品に捻回を付与するための装置を省略することができるスロットの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a slot capable of omitting a heat treatment furnace for heating the slot to a prescribed temperature range at the time of manufacturing the slot and an apparatus for imparting twisting to a final product just before a take-up device of the final product. - 特許庁

コークス炉において、燃焼室底部の床上に垂直方向に貫通する複数のスリットを設けた耐火物、好ましくはスロットル煉瓦１０を少なくとも１個以上載置して燃焼室で生成した固着物を捕捉するコークス炉蓄熱室の閉塞防止方法。例文帳に追加

This method for preventing the heat accumulation chamber in the coke oven from blocking is provided by catching adhering material produced in the combustion chamber by loading at least ≥1 refractory material installed with in a plurality of slits penetrating through in vertical direction, preferably throttle brick 10 on the floor of the bottom part of the combustion chamber. - 特許庁

ウェーハ移載器２０は、制御部４０の指示に従って、ウェーハカセット１１，１２の第１，第２のテストウェーハＴＷ１，ＴＷ２を半導体製造装置の反応炉から搬出されたボート３０の指示されたスロットにそれぞれ移載する。例文帳に追加

A wafer transfer unit transfers first and second test wafers TW1 and TW2 in wafer cassettes 11 and 12 to the specified slots in a boat 30 unloaded from a reaction furnace of a semiconductor manufacturing apparatus, respectively, as instructed by a controller. - 特許庁