alkaline developing agentとは 意味・読み方・使い方

The developing solution composition is a low alkaline aqueous solution containing only a hydrogencarbonate as an alkali agent and having a pH in the range of 7-9.5.例文帳に追加

炭酸水素塩のみをアルカリ剤として含有し、ｐＨが７〜９．５の範囲にある弱アルカリ性水溶液であることを特徴とする。 - 特許庁

By irradiating light, an electron beam or radiation to the resist substrate to draw an image and developing by using an alkaline developing agent, the pattern having the high sensitivity and high resolution can be formed.例文帳に追加

このレジスト基板に光、電子線または放射線を照射して描画し、アルカリ現像液を用いて現像することにより、高感度・高解像度のパターンを形成することができる。 - 特許庁

To provide a developing solution for photolithography, in which tetrabutylammonium hydroxide (TBAH) is used as an alkaline agent of the developing solution and deposition of TBAH is suppressed.例文帳に追加

水酸化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）が現像液のアルカリ剤として使用され、かつ、ＴＢＡＨの析出が抑制されたフォトリソグラフィ用現像液を提供すること。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition capable of developing in an alkaline aqueous solution, processing at a low temperature and giving an excellent heat-resistant resin layer, and a phenol novolak useful as a curing agent for such resin composition.例文帳に追加

アルカリ水溶液での現像及び低温での加工が可能で耐熱性の優れた樹脂層を得ることができる感光性樹脂組成物、及びそのような組成物の硬化剤として有用なフェノールノボラックを提供すること。 - 特許庁

The positive resist composition contains (A) a substrate component with the solubility to an alkaline developing solution increased by function of an acid, (B) an acid forming agent component for generating an acid by exposure, and (G) a benzodioxol or a derivative thereof.例文帳に追加

酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分（Ａ）、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）、およびベンゾジオキソールまたはその誘導体（Ｇ）を含有するポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

The concentrated developing solution for the radiation-sensitive composition is made of (A) an alkaline metal carbonate, (B) an alkaline metal hydrogen carbonate, (C) a surface active agent component made of at least one of a polyalkylene oxide adduct of cumylphenol and a polyalkylene oxide adduct of phenylethyl group substitution phenol, (D) a specific solubilizing agent component, and (E) water.例文帳に追加

（Ａ）アルカリ金属炭酸塩、（Ｂ）アルカリ金属炭酸水素塩、（Ｃ）クミルフェノールのポリアルキレンオキサイド付加物又はフェニルエチル基置換フェノールのポリアルキレンオキサイド付加物の少なくとも１種からなる界面活性剤成分、（Ｄ）特定の可溶化剤成分及び（Ｅ）水からなる感放射線性組成物用濃縮現像液。 - 特許庁

The developing solution for the photosensitive planographic printing plate having a photopolymerizable photosensitive layer on an aluminum support contains an inorganic alkaline agent and a polyoxyalkylene polystyrylphenyl ether type nonionic surfactant.例文帳に追加

アルミニウム支持体上に光重合性感光層を有する感光性平版印刷版の現像液であって、無機のアルカリ剤とポリオキシアルキレンポリスチリルフェニルエーテル型ノニオン系界面活性剤とを含有することを特徴とする。 - 特許庁