half-reactionsとは 意味・読み方・使い方

Therefore, by half exposure in a half-exposed region F, a first resist layer R1 is not subjected to exposure reaction, but rather the regions J and K of a second resist layer R2 are made to react to half-exposure light, and the exposure reactions of the first resist layer R1 and the second resist layer R2 can be separated from each other.例文帳に追加

このため、ハーフ露光によりハーフ露光領域Ｆにおいて、第１のレジスト層Ｒ１を露光反応させずに第２のレジスト層Ｒ２の領域Ｊ、Ｋを露光反応させて、第１、第２のレジスト層Ｒ１、Ｒ２の露光反応を分離することができる。 - 特許庁