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plasma confinementとは 意味・読み方・使い方
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「plasma confinement」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 46件
PERFORATED PLASMA-CONFINEMENT RING IN PLASMA REACTOR例文帳に追加
プラズマリアクタにおける穿孔プラズマ閉じ込めリング - 特許庁
A plasma reactor possesses the performance of plasma confinement and plasma radiation distribution.例文帳に追加
プラズマ閉じ込め、プラズマ放射分布性能を具備するプラズマ反応器。 - 特許庁
WAFER AREA PRESSURE CONTROL FOR PLASMA CONFINEMENT例文帳に追加
プラズマ閉じ込めのためのウエハ領域圧力制御 - 特許庁
MAGNETIC IMPROVEMENT FOR MECHANICAL CONFINEMENT OF PLASMA例文帳に追加
プラズマの機械的閉じ込めのための磁気による改善 - 特許庁
MAGNETIC CONFINEMENT AND ELECTROSTATIC CONFINEMENT OF PLASMA IN MAGNETIC FIELD INVERSION COORDINATION例文帳に追加
磁場反転配位におけるプラズマの磁気的閉じ込めおよび静電気的閉じ込め - 特許庁
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「plasma confinement」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 46件
To provide a method and a device for enhancing plasma radiation confinement by the magnetic control of radiation distribution of plasma and impedance confinement.例文帳に追加
プラズマの放射分布の磁気コントロール、インピーダンス閉じ込めによってプラズマの放射閉じ込めを増強する方法および装置の提供。 - 特許庁
PLASMA CONFINEMENT RING ASSEMBLY HAVING REDUCED POLYMER DEPOSITION CHARACTERISTICS例文帳に追加
低減されたポリマー堆積特性を有するプラズマ閉じ込めリング組立体 - 特許庁
PLASMA CONFINEMENT BAFFLE AND FLOW EQUALIZER FOR ENHANCED MAGNETIC CONTROL OF PLASMA RADIATION DISTRIBUTION例文帳に追加
プラズマ放射分布の磁気コントロール増強のためのプラズマ閉じ込めバッフルおよび流量平衡器 - 特許庁
At least one confinement ring is provided, and the confinement ring and the substrate support define a plasma space.例文帳に追加
少なくとも1つの閉じ込めリングが提供され、前記閉じ込めリングおよび前記基板支持部はプラズマ空間を定義する。 - 特許庁
Plasma confinement rings for plasma process chambers are adapted to reach sufficiently high temperatures on plasma-exposed surfaces of the rings.例文帳に追加
プラズマプロセスチャンバ用プラズマ閉じ込めリングのプラズマ曝露面の上で十分に高い温度に達するようになされる。 - 特許庁
To substantially reduce polymer deposition onto plasma-exposed surfaces of plasma confinement rings for plasma process chambers.例文帳に追加
プラズマプロセスチャンバ用プラズマ閉じ込めリングのプラズマ曝露面の上へのポリマーの堆積を大幅に低減する。 - 特許庁
During plasma etching treatment, heat is supplied to the plasma confinement rings 14, 16, 18 and 20 by the plasma and other heating effects.例文帳に追加
プラズマエッチング処理中に、プラズマおよび他の加熱効果によって、プラズマ閉じ込めリング14、16、18および20に熱が供給される。 - 特許庁
To provide a plasma confinement ring assembly configured so that the planes of a plasma confinement ring exposed to plasma reaches a sufficiently high temperature in order to avoid polymer deposition on these planes.例文帳に追加
プラズマ閉じ込めリングのプラズマに露出する面上のポリマー堆積を回避するために、これらの面上が十分な高温に達するように構成されたプラズマ閉じ込めリング組立体を提供する。 - 特許庁
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