primary electronとは 意味・読み方・使い方

The electron gun 1 of this mapping type electron microscope emits an electron beam as a primary irradiation beam 4 to irradiate a sample 6 placed on a stage 5.例文帳に追加

電子銃１からの電子ビームは、一次照射ビーム４となり、ステージ５の上の試料６を落射照射する。 - 特許庁

To provide an electron detector capable of detecting an electron at high sensitivity with no mixing of noise even when accelerating voltage of primary electron beam is low.例文帳に追加

一次電子ビームの加速電圧が低くても、雑音の混入なく高感度で電子の検出ができる電子検出装置を実現する。 - 特許庁

To restrain an aberration increase caused by a spatial charge effect of a secondary electron beam in an overlapped area of a primary electron beam and the secondary electron beam.例文帳に追加

一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。 - 特許庁

This electron beam device 1 is equipped with a lens group composed by arranging, for every electron gun, a lens for converging and emitting a primary electron beam.例文帳に追加

この電子線装置１は一次電子線を集束して照射させるレンズを各電子銃毎に配列したレンズ群を備えている。 - 特許庁

The film thickness measuring device comprises a board 11, an electron gun 12 for primary electron irradiation, a deposition device 13 for specimen deposition and a secondary electron detector 14.例文帳に追加

本構成は基板１１、１次電子照射用の電子銃１２、試料蒸着用の蒸着装置１３、２次電子検出器１４からなる。 - 特許庁

A sample 7-1 is irradiated with an electron beam emitted from an electron gun 1-1 via a primary electron-optical system, by which an electron emitted from the sample is detected by a detector 12-1 via a secondary electron-optical system.例文帳に追加

電子銃１-1から放出された電子ビームが１次電子光学系を介して試料７-1上に照射され、それにより試料から放出された電子が２次電子光学系を介して検出器１２-1において検出される。 - 特許庁

The electron generation electrode 101 and the electron amplification plate 10 are closely stuck together, a primary electron generated from the electron generation electrode 101 caused by incidence of radiation, is amplified by entering the through-hole 18 arranged in a position corresponding to an incident position of the radiation generating the primary electron.例文帳に追加

上記電子発生電極１０１と電子増幅板１０とは密着しており、放射線の入射により電子発生電極１０１から発生した一次電子は、当該一次電子を発生させた放射線の入射位置に対応する位置に配置された貫通孔１８に進入し、増幅される。 - 特許庁

To provide an electron beam apparatus capable of making an observation of primary electron beams in real time, and measuring the current density of the primary electron beams at a high speed.例文帳に追加

リアルタイムで一次電子線の電流密度の観察を行うことが可能であり、高速で一次電子線の電流密度の測定が可能な電子線装置を提供する。 - 特許庁