vacuationとは 意味・読み方・使い方

The main valve 8 is closed and the slow valve 10 is opened at the initial stage of vacuation for depression to 1 TORR or below, and then the main valve 8 is released for further depressurizing, resulting in prevented dusts due to rapid pressure change.例文帳に追加

さらに真空引きの最初の段階でメインバルブ８は閉鎖としてスローバルブ１０を開いて１ＴＯＲＲ以下となるまで減圧し、その後メインバルブ８を開放してさらに減圧するので、急激な圧力変化による発塵を防止できる。 - 特許庁

Related to a vacuum chamber device 2, a butterfly valve 6, a main valve 8, a slow valve 10, a bent point 14 of a piping 4, a bent line 118, and a valve 12 connected to the bent line 118 are heated by a heating means at vacuation.例文帳に追加

真空チャンバ装置２では、真空引きを行う際に、バタフライバルブ６、メインバルブ８、スローバルブ１０、配管４の屈曲箇所１４、ベントライン１１８とベントライン１１８に接続されたバルブ１２が不図示の加温手段により加温される。 - 特許庁