�������пƼ����޹�˾

�������пƼ����޹�˾λ���������¼�����ҵ԰����һ�Ҵ��¸���MEMS��΢����ϵͳ��ѹ���������з������������۵ļ�������ҵ����˾ӵ����������ѧ������������ϵ����Ʒ���������㷺���������ڴ�ͳ�Ĺ�ҵ�������г��⣬�����Եͳɱ�����ʹ�����Ӵ����������ѵ����г����Ѿ�����������Դ���������㲿���з���������ҵ���ܺ��������й�ͨ��ѹ��������оƬ�͵��Ӳ�Ʒ�������ƹ�Ӧ�̡���Ϊѹ���������Ĺ�Ӧ�̣�����Э���ͻ��������ִ�������ȫ�������ͻ��ĸ���Ӧ�û����� ѹ����������Ʒ�������塢Һ�������ȶ������򣬲�Ʒ����Ѫѹ����(40kpa)��̥ѹ����(700kpa)����������ѹ���͸߶ȼ�(100kpa)�ȣ���Ӧ����ѹ�������빤ҵ����ϵͳ���ҵ���Ʒ�����ѵ���������ѹ���������IJ����ܹ��㷺��������ѹ1kpa�����Լ���ѹ70MPa���ϣ����⣬��˾���ɸ��ݿͻ��������Ƹ������̡���װ��ʽ�����������ȶ��Ե�ѹ��������Ʒ�����ṩ��Ӧ�Ľ��������� չ��