ע���ֱ����Դά������ �ͺ� XHR600-2 Ʒ�� ����Quantum

ע���ֱ����Դά������ �ͺ� XHR600-2 Ʒ�� ����Quantum���������м�����ҵ�Զ������޹�˾Ϊ�뵼�幤����Һ����幤�����ṩAE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL�ȸ�Ʒ����Ƶ��Դ��ֱ����Դ��ƥ������RPS������뵼���豸ά��

DTEC��Ƶ��Դά��AX-2000III�����Ӷ�Ĥ��Դά��ADTEC��Ƶ��Դά��AX-2000III �����ӵ�Դά�� ��Ĥ��Դά�� AX-600III

��ҵ��Դά�޷�Χ��AE��Դά�ޣ�����MDX,MDXII,Pinnacle,Diamondϵ��AE��Դά�ޣ�AE��Ƶ�Դά�ޣ�AE��Ƶ��Դά�ޣ���Ƹ�Ƶ��Դά�ޣ���ʴ��Ƶ��Դά�ޣ�RE��Ƶ��Դά�ޣ�PECVD��Ƶ��Դά�ޣ����ʹ�ҵ��Դά�ޣ�UPS��Դά�޵ȸ���ҵ��ҵ�õ�Դά��

��Ƶ��Դ�豸ά�ޣ���ʴ��RIE,PECVD,ICP,��Ƶ���䣬CVD��PVD��ϵͳ

��������˾ά�޹����豸��ʹ��ԭװ�����������ȶ��ԣ��޸������豸��������˾�IJ���ƽ̨�����ز��ԣ���·��Ĺؼ���λ������Ե���ᴦ������·���ϻ���Ԫ�������˲����ݣ�ɢ���������ȵȣ���������������ɢ�ȴ������豸ʹ���е��ȶ�����ɿ��ԡ�

ά���ٶȿ��Ʒ�������֮�����޸���(�Ӽ�2�������գ��ؼ�1�������ջ��ֳ�Ϊ���������.)ά�޺��ȼ�����ԭ���г����ϲ�����ϸ����Ŀ�������ͻ������ͻ�ͬ�������������ά�޵� �̶����ں����������Ӧ�̣��޶ȵĽ��Ϳͻ�ά�ޡ�ά�� ��ά�����Ĺ���ʦ�����ж���ά�޾��飬��ͨ���ڲ�Ʒ��ά���豸�� ��ά���������е�ά���������IJ���̨��ϵ�и��������豸��ά������� ���г��㡢���㲿����ά�޵�˳�����С�ά���б��� ���������豸�����ͬ����ϣ������ͬ���ϣ������ṩ��������ʱ��

һ��RF Generator��Ƶ��Դά�޺�����ֱ����Դ

1��AE��ADVANCED ENERGY�� 2��RFPP��Ƶ��Դ 3��MKS/ENI��Ƶ��Դ 4��AD-TEC��Ƶ��Դ 5��COMDEL��Ƶ��Դ 6��DAIHEN��Ƶ��Դ7��HUTTINGER��Ƶ��Դ8��KYOSAN��Ƶ��Դ9��SEREN��Ƶ��Դ10��VEECO��Ƶ��Դ11��NP��Ƶ��Դ

����RF MATCH(��Ƶ��Դƥ��)1��ADVANCED ENERGY��Ƶ��Դƥ��2��ASTEX��Ƶ��Դƥ��3��NP(NEW POWER PLASMA)��Ƶ��Դƥ��

��4��ASTECH��Ƶ��Դƥ��5��SEREN��Ƶ��Դƥ��6��LAM��Ƶ��Դƥ��7��KYOSAN��Ƶ��Դƥ��8��ENI��Ƶ��Դƥ��9��DAIHEN��Ƶ��Դƥ��10��AMAT��Ƶ��Դƥ��11��TRAZAR��Ƶ��Դƥ��

������ѹ��Դ

1��HiTek Power supply��ѹ��Դ 2��ADVANCE HIVOLT��ѹ��Դ 3��Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)��ѹ��Դ

4��GLASSMAN��ѹ��Դ 5��SPELLMAN��ѹ��Դ 6��Varian��ѹ��Դ 7������Ʒ��

�ġ�ֱ����Դ

����1��LAMDBA ESS/EMIֱ����2��Delta ELEKTRONIKAֱ����Դ3��SORENSENֱ����4��AMETEK�ɱ�̵�Դ5��POWER TENֱ����Դ

����6����˿��Դ��X���ߵ�Դ7���ع�Ƶ�ԴUSHIO��Mercury lamp power supply��

�塢΢����Դ������

��1��ASTeX AGLϵ��΢����ԴMicrowave Generator2��MUEGGE Microwave Power Supply΢����Դ3��ASTeX Smart Match

����SEREN��Ƶ��Դά��R1001��ҵ��Դά��R600

��ҵ��Դά�ޣ�AE��Դά�ޣ�����MDX,MDXII,Pinnacle,Diamondϵ��AE��Դά�ޣ�AE��Ƶ�Դά�ޣ�AE��Ƶ��Դά�ޣ���Ƹ�Ƶ��Դά�ޣ���ʴ��Ƶ��Դά�ޣ�RE��Ƶ��Դά�ޣ�PECVD��Ƶ��Դά�ޣ����ʹ�ҵ��Դά�ޣ�UPS��Դά�޵ȸ���ҵ��ҵ�õ�Դά�ޣ���Ƶ��Դ�豸ά�ޣ���ʴ��RIE,PECVD,ICP,��Ƶ���䣬CVD��PVD��ϵͳ��