��Ƶ����
��������̼���������һ���²��ϣ���ָ��SiC��SiΪԭ�ϣ��������ճɵĸ��ϲ��ϡ�����Ʒ��20����60�������***���֣��������µ�����Ӧ���γ����ܵ�����״�ṹ���γɣ����ص�����Si3N4Ϊ��ϼ���Si3N4����״����ά״�ᾧ������SiC����֮�䣬��һ����Ҫ�������ͻ���ĥ������������Ʒ��
��˾��Ƶ
�鿴���� >- �մɱã�̼����ã� 7�β���