揺動ピストン型ポンプとは？ わかりやすく解説

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2008/08/17 16:50 UTC 版)

揺動ピストン型真空ポンプ（ようどう—がた—）は真空ポンプの一種であり、油回転ポンプより堅牢、かつ排気量も大きなものが多い。 しかし回転ポンプに比べ振動が大きく、油回転ポンプでは難しい, 大きな排気量を必要とする用途にのみ使われる。 大型のものでは冷却水を必要とする場合もある。 到達圧力は1Pa程度である。